¡Reventón del plan de fuente de luz EUV! Maquinaria óptica de Shanghai revelada por el responsable de la fuente de luz nacional EUV
El primer pulso 11 se emite antes que el segundo pulso 12, y el retraso entre el primer pulso 11 y el segundo pulso 12 es ajustable; la energía del primer pulso es suficiente para bombardear la gota objetivo en una; Idealmente distribuida geométricamente, la energía del segundo impulso 12 es suficiente para convertir el objetivo tratado por el primer impulso en un plasma que emite luz EUV.
Resumen:
La presente invención se relaciona con el campo de la tecnología láser y divulga una fuente de luz impulsora de doble pulso de fuente de luz de litografía EUV de alta potencia, con un rango de longitud de onda de 1800 -2500 nm, utilizando materiales dopados con Tm que sirven como medios de ganancia de láser, incluidas fuentes de semilla de pulso, selectores de pulso, divisores de haz de pulso, retardos de pulso, formadores de pulso y sistemas de amplificación de pulso láser. Las fuentes de semilla de pulso incluyen osciladores de modo bloqueado y pulso de nanosegundos. fuentes de semillas.
Los pulsos duales que impulsan la salida de la fuente de luz se pueden generar mediante la misma fuente semilla de pulso, y la salida de pulso dual con retardo de tiempo ajustable se puede lograr a través de un divisor de haz de pulso y un retardador de pulso. El sistema de amplificación de impulsos láser para accionar la fuente de luz incluye al menos un amplificador de impulsos, y la anchura del impulso puede ajustarse mediante un ensanchador de impulsos y un compresor de impulsos.
Los pulsos dobles emitidos por la fuente de conducción también pueden ser generados por diferentes fuentes de semilla de pulso. Después de que el selector de pulsos reduce la secuencia de pulsos a una tasa de repetición adecuada, el retardador de pulsos realiza la salida retrasada de pulsos dobles. El sistema de amplificación de pulso láser incluye al menos una etapa de amplificador de pulso, y el ancho del pulso se puede ajustar a través de un ensanchador de pulso y un compresor de pulso.
La presente invención utiliza las características de los láseres de estado sólido de banda 2mum de alta potencia, como una potencia promedio alta, una alta eficiencia de inserción en la pared y un tamaño de dispositivo pequeño, para reemplazar el láser de CO2 que se usa actualmente como controlador. fuente de luz para obtener una mayor potencia de salida promedio y mejorar la potencia para estimular la radiación EUV resuelve el problema de aumentar la producción de chips de las máquinas de litografía EUV.
El 26 de mayo se celebró en Shanghai la Conferencia de Premios de Ciencia y Tecnología de Shanghai. En el encuentro se entregaron diversos premios de ciencia y tecnología para el año 2022. Cuatro logros de investigación científica del Instituto de Óptica y Mecánica de Shanghai ganaron el primer premio del Premio de Ciencia y Tecnología de Shanghai en 2022. Entre ellos, el proyecto "Tecnología clave y aplicación de rejilla combinada de haz espectral independiente de polarización de alta potencia" ganó el premio. primer premio del Premio de Invención Tecnológica de Shanghai.
La tecnología de formación de haces espectrales es actualmente una de las rutas técnicas de más rápido crecimiento para lograr láseres de fibra de alta potencia. Esta tecnología utiliza el principio de dispersión inversa de rejilla para combinar cientos de láseres de subhaz de nivel de kilovatios de diferentes longitudes de onda en un láser de alta potencia. Sin embargo, debido a la independencia de la polarización, la alta eficiencia espectral y la baja distorsión por aumento de temperatura, es extremadamente difícil desarrollar rejillas que combinen haces espectrales y no ha habido avances efectivos durante muchos años.
Después de años de investigación conjunta, el Laboratorio Nacional Livermore, Advanced Film Corporation y Lockheed Martin han desarrollado un haz de rampa espectral que combina una rejilla que puede soportar un sistema láser de alta energía de 30 kW, ganó el premio American Science de 2014. y Premio Tecnología “R:D100” Premio Innovación. En 2022 se alcanzará una potencia de láser sintético de 300 kilovatios.
Este proyecto ha promovido efectivamente el rápido desarrollo de la tecnología láser de síntesis espectral de alta potencia de mi país, ha aumentado la potencia de salida sintética de 4 a 5 órdenes de magnitud y ha asegurado la construcción de una serie de máquinas de alta potencia. Equipos láser en campos relacionados en mi país. También se han aplicado resultados pertinentes a aplicaciones de láser, como el radar de velocidad láser Doppler, los láseres semiconductores, los láseres ultracortos y el procesamiento de láser azul-verde, y algunos productos se han exportado al extranjero. Además, también ha promovido el progreso del procesamiento óptico de ultraprecisión de mi país, la preparación de películas delgadas con láser de alta potencia, el recubrimiento por giro fotorresistente, el grabado con haz de iones y otras tecnologías relacionadas, y ha logrado importantes beneficios sociales y económicos.
Con el fuerte apoyo de las unidades nacionales pertinentes, el proyecto ha logrado avances en una serie de tecnologías clave, como el diseño del sistema de estructura de rejilla y la evaluación de ingeniería, el control de precisión de la estructura de rejilla, la detección de deformación térmica y la supresión del aumento de temperatura. formando un conjunto completo de equipos de proceso de producción de rejillas con derechos de propiedad intelectual independientes.
Autorizó 15 patentes de invención y publicó 26 artículos. Más de una docena de expertos en el campo señalaron que "el proyecto es técnicamente complejo, difícil y altamente innovador. La tecnología general ha alcanzado el nivel avanzado internacional en el campo de las rejillas combinadas de fibra láser de alta potencia, y su ancho de banda espectral y La eficiencia de difracción es líder mundial".
La atención se centra en estos dos párrafos:
Después de años de investigación conjunta, el Laboratorio Nacional Livermore, Advanced Film Corporation y Lockheed Martin han desarrollado una rejilla combinada de haz The Spectral Ramp, que Puede admitir sistemas láser de alta energía de 30 kW y ganó el Premio a la Innovación "R: D100" del Premio Estadounidense de Ciencia y Tecnología 2014. En 2022 se alcanzará una potencia de láser sintético de 300 kilovatios.
Este proyecto ha promovido efectivamente el rápido desarrollo de la tecnología láser de síntesis espectral de alta potencia en nuestro país, haciendo que la potencia de salida sintética aumente de 4 a 5 órdenes de magnitud (es decir, ¡de 10.000 a 10.000 veces! ), asegurando que nuestro país Construcción de una serie de equipos láser de alta potencia en campos relacionados.
Recientemente, la rejilla combinada de haz independiente de polarización desarrollada por el Instituto de Óptica y Mecánica de Shanghai ha logrado grandes avances. El Laboratorio de Materiales Láser Fuertes de la Academia de Ciencias de China es el primero en China en desarrollar una rejilla combinada de haz totalmente dieléctrico independiente de la polarización. La rejilla desarrollada de 50 mm × 50 mm tiene una eficiencia de difracción de más de 94 en el rango del láser no polarizado de 1040 nm-1070 nm y puede soportar varios kilovatios de potencia.
Investigadores científicos del Instituto de Óptica y Mecánica de Shanghai, basándose en la tecnología de película láser de alta intensidad y el diseño de rejilla, combinados con la tecnología de fabricación de película láser de alta intensidad y el diseño de estructura de rejilla flexible, mejoraron inteligentemente La eficiencia de cada eslabón en la fabricación de rejillas. Las tolerancias de fabricación han logrado un gran avance en el desarrollo de rejillas combinadas de haz totalmente dieléctrico independiente de la polarización en mi país.
La tecnología de síntesis de láseres de fibra de alta potencia se ha convertido en un punto de investigación internacional. Entre ellos, la síntesis espectral incoherente es un método de síntesis que se ha desarrollado rápidamente en los últimos años. Su componente principal es un todo independiente de la polarización. -Rejilla combinada de haz dieléctrico. Sólo Estados Unidos puede proporcionarlo.