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Protección de seguridad del tetrafluorosilano
El lugar de trabajo debe estar ventilado para mantener el aire fresco y seco. El tetrafluoruro de silicio puede hidrolizarse rápidamente cuando se expone a la humedad y es corrosivo. La mayoría de los materiales metálicos generales se pueden usar para tetrafluoruro de silicio seco. El monel, la aleación de cromo-níquel, el zinc, el oro y el platino se pueden usar para la humedad. El aluminio, la aleación de aluminio, el tantalio y el titanio no son resistentes a la corrosión. Las tuberías de los equipos se pueden probar para detectar fugas con amoníaco.
Los gases de escape pueden absorberse con agua y neutralizarse con soluciones acuosas alcalinas como el potasio cáustico.