Proceso de operación del horno monocristalino
Limpieza y carga del horno: Limpie toda la pared interior de la cavidad del horno y el serpentín de calentamiento, el reflector, el soporte de cristal, los ejes superior e inferior, ajuste el nivel del serpentín de calentamiento y reflector y su conexión con la alineación superior del eje y el eje inferior; fije la abrazadera del material policristalino en la ranura en la cola del material policristalino y luego instálela en el extremo del eje superior para centrar el material policristalino; coloque el cristal en el portabrocas y luego instale el cristal en la parte superior del eje inferior; cierre todas las puertas del horno y apriete todos los pernos de fijación (2) Aspire, infle y precaliente: abra la bomba de vacío y la válvula del tubo de escape; evacue la cavidad del horno, cuando se alcance el nivel de vacío Cuando se alcance el valor requerido, cierre la válvula del tubo de escape y la bomba de vacío, y cargue rápidamente argón en la cavidad del horno cuando la presión de carga alcance la presión relativa de 1 bar-6 bar, detenga la carga rápida; , cambie a carga lenta y abra la válvula de escape para introducir argón. Una vez completado el inflado, precaliente la varilla de polisilicio, use un anillo de precalentamiento de grafito, use la configuración actual, el valor de configuración de precalentamiento es 25-40 y el tiempo de precalentamiento. es de 10 a 20 minutos (3) Semilla por fusión: precalentamiento Después de calentar, derrita, cambie el rango de voltaje durante la fusión y establezca el valor del generador en 40-60 después de que el material policristalino se derrita, el cristal semilla se suelda al fundido; silicio, y después de soldar, se forma y se siembra la zona de fusión (4) Cuello de crecimiento: una vez completada la siembra, crecerá un cuello delgado, con un diámetro de 2-6 mm y una longitud de 30-60 mm (5); Expansión del hombro y llenado de nitrógeno: después de que el cuello crezca, se llevará a cabo la expansión del hombro y la velocidad de descenso disminuirá lentamente a 3 ± 2 mm/min, al mismo tiempo, a medida que aumenta el diámetro del hombro, la velocidad de descenso continúa disminuyendo. a 8 ± 4 rpm, y la velocidad ascendente también cae lentamente a 65438 ± 0,5 rpm, para evitar la ionización de alto voltaje, se llena una cierta proporción de nitrógeno en la atmósfera protectora de argón. La proporción de dopaje de nitrógeno a argón es 0,01. -5 (6) Rotación del hombro, sujeción y liberación de la garra: cuando el diámetro de expansión del hombro difiere del diámetro de sujeción del cristal único en 3-20 mm, se debe reducir la velocidad de expansión del hombro, girar el hombro hasta alcanzar el diámetro requerido. Sostenga el monocristal, el diámetro de sujeción del mismo diámetro es de 75-220 mm y la tasa de crecimiento del monocristal es de 1 mm/min-5 mm/min. Durante el proceso de expansión del hombro, cuando el hombro del monocristal (7) se cierra y el horno se apaga: cuando el monocristal se tira hacia la cola, comienza a cerrarse hasta que el diámetro del monocristal alcanza φ10-80mm , y se abre la zona de fusión. En este momento, el eje inferior continúa moviéndose hacia abajo y el eje superior se mueve hacia arriba. Al mismo tiempo, la potencia se mantiene en 40 10 y el cristal se enfría lentamente. Un dispositivo de crecimiento monocristalino de Czochralski pertenece al campo técnico de los equipos de crecimiento de semiconductores. Incluye un servosistema hidráulico para el ajuste de la varilla del crisol; en la unidad de control de calentamiento se combinan un transformador de balanceo trifásico, un condensador de filtro, un reactor y una resistencia, y se conectan en paralelo con la fuente de armónicos; también cuenta con un inflador de frecuencia variable; La invención supera el problema de que el dispositivo de accionamiento de elevación del eje del crisol existente no puede garantizar eficazmente la estabilidad y precisión del control de producción, la unidad de control de calentamiento existente no puede eliminar los armónicos y el dispositivo de accionamiento de elevación del eje del crisol existente no puede garantizar eficazmente la estabilidad y precisión de la producción. Controlar defectos sexuales. 1. Propósito
Para operar el horno monocristal de manera correcta y estándar y garantizar el funcionamiento normal de la producción, esta especificación está especialmente formulada.
2. Ámbito de aplicación
Aplicable al funcionamiento de hornos monocristalinos TDR-70A/B y JRDL-800.
3. Proceso de operación del horno monocristalino
Preparación de la operación → detección de fugas térmicas → sacar el monocristal y el cristal semilla → sacar las piezas de grafito y enfriarlas → limpiar el filtro de vacío → revise y reemplace el aceite de la bomba de vacío → limpie las piezas de grafito → limpie la cámara del horno monocristalino → instale las piezas de grafito → instale el crisol estacional → instale el material de silicio → instale el cristal semilla → vacío y detección de fugas → llene con argón, aumente la potencia, derrita el material → semilla, cuello hacia abajo, soltar, girar los hombros → crecimiento de igual diámetro →
4. Contenido principal
Preparación de la operación
Debe usar ropa de trabajo limpia y. Zapatos de trabajo al ingresar al taller de monocristal.
B. Antes de encender el horno, verifique el agua, la electricidad y el gas de acuerdo con los requisitos del proceso. Solo después de confirmar que son correctos se puede encender el horno.
C. Prepare guantes de limpieza desechables, guantes para altas temperaturas, toallas, toallas de papel, tela de esmeril, alcohol, cepillos de aspiradora, tubos de aspiradora y mascarillas contra el polvo.
D. Preparar alicates, llaves y diversas herramientas especiales para el desmontaje y montaje de la estufa.
E. Tome el marco de monocristal, el carro de acero inoxidable para las piezas de grafito, el cilindro de acero inoxidable para el material del fondo del crisol y el carro de acero inoxidable para el material de silicio, y límpielos.
f. Utilice una toalla para limpiar el cuerpo del horno de arriba a abajo. Al fregar, tenga cuidado de no romper ni dañar ningún cableado ni interruptores de control, y limpie el exterior del calefactor.
B. Detección de fugas térmicas
A. Verificar el tiempo de corte de energía del último horno. Después de que el monocristal se haya enfriado durante 4,0 horas (horno monocristalino TDR-70A/B) y 5,0 horas (horno monocristalino JRDL-800), apague el gas argón (solo cierre la válvula de gas argón, abra la cámara principal y la cámara auxiliar). medidores de flujo de la cámara y ajustar a 30L/Min), comenzar a aspirar y registrar el tiempo.
B. Cuando la presión en el horno alcance el límite (por debajo de 3 Pa), primero cierre la válvula de bola en la cámara principal, luego apague el suministro de energía de la bomba de vacío de detección de fugas y haga el tiempo correspondiente. archivos. Si la presión es inferior a 3Pa en 0,5 horas, se debe entregar al personal de mantenimiento correspondiente. Durante este período, se debe cooperar con el personal de mantenimiento relevante con la instalación y desmontaje del horno y se deben mantener los registros pertinentes.
C. La detección de fugas tarda más de 3 minutos y la tasa de fuga es
c. Tome el monocristal y el cristal semilla
A. detección, desatornille Retire los 4 tornillos de la puerta de la cámara auxiliar, abra la válvula de gas argón y llene el gas argón a la presión normal, cierre el gas argón, desatornille los 4 tornillos de la puerta de la cámara auxiliar y abra la puerta de la cámara auxiliar.
B. Levante el monocristal hasta la sala auxiliar y confirme que el monocristal se eleva a la altura requerida desde la pequeña puerta de la sala auxiliar. Si no hay ninguna anomalía, cubra la válvula abatible, abra la bomba hidráulica y levante la cámara auxiliar.
C. Mueva la placa de conexión de seguridad a la boca del cilindro del horno y gire lentamente la cámara auxiliar hacia un lado.
d. Coloque el marco del monocristal directamente debajo del cilindro del horno de la cámara auxiliar y prepárese para conectar el monocristal.
e. Estabilice el monocristal, retire la bandeja de seguridad, presione el cristal semilla para que caiga rápidamente y coloque el monocristal en la rejilla.
F. Después de confirmar que el monocristal está completamente colocado en la rejilla, presione el cristal semilla y utilice unos alicates para retirar el cristal semilla del diámetro pequeño. Después de sujetar el cristal semilla, mantenga el peso firme para evitar que gire rápidamente y dañe el cable.
G. Retire el cristal semilla del peso, colóquelo en la posición designada y luego levante el peso a la posición adecuada en la cámara auxiliar.
H. Mueva el monocristal al área de transferencia, escriba el número del monocristal en el monocristal de forma rápida y precisa, pruebe y registre todos los parámetros del monocristal después del enfriamiento natural.
d. Saca la lámina de grafito y enfríala.
A. Saque la pequeña lámina de grafito.
1) Encienda la bomba hidráulica y presione el botón de elevación de la tapa para levantarla. Una vez que la tapa esté colocada en su lugar, gírela hacia un lado.
2) Use guantes resistentes a altas temperaturas, saque el tubo de tiro y la cubierta aislante en secuencia y colóquelos en un carro de acero inoxidable equipado con piezas de grafito. Tenga cuidado de sujetarlo firmemente y dejarlo suavemente.
3) Utilice guantes resistentes a altas temperaturas, utilice unos alicates para sujetar la parte superior del crisol, levántelo para aflojarlo y saque el crisol. Si el crisol estacional puede sacar todo el material base del crisol, colóquelo directamente en el cilindro de acero inoxidable; de lo contrario, primero saque el crisol estacional, saque el material base restante del crisol junto con el crisol de tres pétalos; luego coloque el material base del crisol en un barril de acero inoxidable. En caso de situaciones inesperadas como asfixia en el horno, utilice unos alicates para retirarlos pieza por pieza hasta su total extracción. Finalmente, mueva el cilindro de acero inoxidable a la posición designada, escriba el número del monocristal y déjelo enfriar de forma natural. Después de enfriar, verifique y registre el peso del material en el fondo del crisol.
4) Use guantes resistentes a altas temperaturas, saque el crisol de tres pétalos y el fondo del crisol en secuencia y colóquelos en un carro de acero inoxidable equipado con piezas de grafito. ¡equivocado! El enlace no es válido. Guárdelo de forma segura después de ponérselo.
5) Utilice la llave de la varilla del crisol para desenroscar el tornillo de acero inoxidable del orificio central de la varilla del crisol, saque la llave de la varilla del crisol y luego coloque la varilla del crisol con los tornillos de acero inoxidable sobre el acero inoxidable. carro, prestando atención a apilarlo suavemente.
6) Coloque las piezas de grafito extraídas en el carro de acero inoxidable, cuelgue la placa de número del horno de las piezas de grafito al lado del carro de acero inoxidable, muévala a la posición designada y déjela enfriar naturalmente. Preste atención a la colocación de las piezas de grafito durante el movimiento para evitar que se caigan.
B. Saque las láminas grandes de grafito (generalmente una vez cada cinco hornos y lleve registros de la limpieza).
1) Sacar la tapa aislante superior y colocarla sobre el carro de acero inoxidable.
2) Retirar el cono termoeléctrico y colocarlo en una posición adecuada con la junta y cristal correspondiente para evitar daños y pérdidas.
3) Encienda el interruptor de la bomba de aceite, presione y mantenga presionado el botón de elevación del cilindro del horno, levante el cilindro del horno hasta el límite, gire el cilindro del horno y bájelo a la posición adecuada.
4) Retire la cubierta aislante del medio y colóquela en el carro de acero inoxidable.
5) Primero retire la cubierta de los tornillos del calentador, luego use herramientas especiales para quitar los tornillos del calentador y luego retire los tornillos del calentador y el calentador en el carro de acero inoxidable.
6) Retire la funda del electrodo, el anillo de sincronización del electrodo, la funda de la varilla del crisol, la pieza inferior del horno superior, el pequeño fieltro de grafito debajo de la pieza inferior del horno superior, la funda de escape, el escudo térmico inferior, la pieza inferior del horno, Fondo del horno: fieltro de carbono, electrodo de grafito, etc. Colóquelos uno por uno en el carro de acero inoxidable. Cuelgue la placa con el número del horno de grafito junto al vagón de acero inoxidable, muévala al lugar designado y déjela enfriar de forma natural. Presta atención a la colocación de las piezas de grafito durante el ejercicio para evitar que se caigan.
E. Limpiar el filtro de la aspiradora
A. Prepare el cepillo de la aspiradora, la manguera de la aspiradora, el alcohol, las toallas de papel, la llave, los guantes y la mascarilla antipolvo.
b. Utilice una llave para abrir los tornillos de la tapa del filtro de aspiradora y sacar el filtro.
Utilice un cepillo para polvo para limpiar cuidadosamente la rejilla del filtro y los volátiles del filtro.
D. Coloque lentamente el filtro limpio en el filtro.
E. Limpie la cubierta del elemento filtrante con un cepillo de aspiradora, limpie el anillo de sellado con una toalla de papel empapada en alcohol y verifique si el anillo de sellado está completamente en su lugar para evitar que se caiga o se salga. de la ranura y afectando la evacuación.
f. Cubra la tapa del filtro y apriétela con una llave.
F. Inspección y reemplazo del aceite de la bomba de vacío
A. Asegúrese de cerrar las válvulas de bola de la bomba principal y de la bomba de vacío, cuelgue la placa de inspección en el monocristal de descarga de aceite. horno y coloque el barril de aceite usado debajo del puerto de drenaje de aceite de la bomba de vacío, abra los interruptores de drenaje de aceite de las cámaras superior e inferior. Después de drenar el aceite, cierre las válvulas de drenaje de aceite de las cámaras superior e inferior y vierta. el aceite usado en los barriles de petróleo designados.
B. Limpiar la bomba de vacío (una vez cada 5 hornos). Utilice una llave para abrir la tapa lateral de la bomba de vacío y colóquela en una posición adecuada. Utilice una toalla para limpiar a fondo las manchas de aceite. Limpie la cámara de la bomba de vacío, la cubierta lateral y el filtro de aceite de la cámara inferior. Luego instale el filtro y la cubierta lateral. Al abrir e instalar la cubierta lateral, tenga cuidado para evitar daños y fugas de aceite a la cubierta lateral y al sello de aceite. Está estrictamente prohibido dejar restos de papel u otras materias extrañas en la cavidad de la bomba, de lo contrario bloqueará el circuito de aceite y atascará la bomba de vacío. Limpie los residuos de la bomba de vacío y colóquelos en el bote de basura designado.
C. Abra la entrada de aceite de la bomba de vacío, inyecte aceite de la bomba de vacío en la entrada de aceite de la bomba de vacío, observe el nivel de aceite de la bomba de vacío hasta la posición 1/2 de la ventana de observación del nivel de aceite, detenga la inyección de aceite. Abra la válvula del tubo de aceite del lado de la bomba para drenar el aceite a la cámara inferior y cierre la entrada de aceite.
D. Arranque la bomba de vacío durante 5 minutos, luego cierre la válvula del tubo de aceite en el lado de la bomba, verifique si el nivel de aceite está en la posición 1/3-1/2 de la ventana de observación del nivel de aceite. , apague la bomba de vacío y saque la tarjeta de mantenimiento del horno monocristalino de drenaje de aceite. Si está por debajo del límite inferior, repita las operaciones C y D.
G. Limpieza de piezas de grafito
A. Limpieza de piezas de grafito
1) Las piezas de grafito deben limpiarse en una sala limpia designada con productos de limpieza (cepillo aspirador, Se deben preparar toallas de papel, tubos de vacío, tela de esmeril, herramientas especiales para eliminar partículas de silicio, camiones de limpieza para colocar piezas de grafito, etc.), y utilizar guantes y mascarillas contra el polvo. Limpie la estación de lavado y el área circundante.
2) Utilice un cepillo aspirador para limpiar varias piezas de grafito en secuencia hasta confirmar que no hay suciedad. Las piezas que absorben más volátiles, como ranuras e interfaces, deben lijarse cuidadosamente con un paño abrasivo antes de aspirarlas.
3) Al limpiar, verifique si las piezas de grafito están dañadas o pegajosas con silicona, reemplácelas y deséchelas a tiempo.
4) Tenga cuidado al operar para evitar dañar las piezas de grafito.
5) Colocar las piezas de grafito limpias en el carro limpio de acero inoxidable preparado previamente. Está estrictamente prohibido el solapamiento y el carro de acero inoxidable debe moverse con suavidad.
6) Coloque la basura limpia en el lugar de basura designado y limpie la mesa de limpieza y el entorno circundante.
B. Limpieza de grafito grande en el horno (aplicable a limpieza pequeña en cada horno, limpieza en el horno cuando no se ha sacado el grafito grande).
1) Utilice un cepillo de aspiradora para limpiar los residuos que cayeron del cilindro del horno, la cubierta aislante y el borde superior del calentador cuando se desmanteló el horno.
2) Utilice un cepillo para polvo para limpiar cuidadosamente la cubierta aislante y las piezas con las que puede entrar en contacto el calentador.
3) Retire la tapa de tornillos del calentador y compruebe si los tornillos de los electrodos están flojos, atascados o pegados con silicona. Si está flojo, asegúrese de apretarlo. Si hay pérdida de pegamento o silicona pegada, asegúrese de reemplazarlo. Luego reemplace la tapa del tornillo del calentador.
4) Si el campo térmico se mueve o gira inesperadamente al desmontar el horno, asegúrese de comprobar si el campo térmico es simétrico y recalibrar el orificio de medición de temperatura. Si el orificio de temperatura lateral se desvía, afectará la señal fotométrica, lo que hará que el valor del óhmetro sea demasiado pequeño, no pueda controlar automáticamente la temperatura en el horno y no pueda cristalizar.
5) Utilice un cepillo para polvo para limpiar el polvo y los residuos en las tabletas del fondo del horno, los fuelles del fondo del horno y los orificios de escape.
6) Limpiar la parte superior de la pared del horno con un papel toalla empapado en alcohol.
H. Limpieza de la sala del horno monocristal
A. Limpieza e instalación de la sala auxiliar
1) Prepare baquetas de limpieza, toallas de papel y alcohol. .
2) Envuelva una toalla de papel empapada en alcohol alrededor de la baqueta de limpieza y limpie el interior de la cámara auxiliar hacia arriba hasta que no quede suciedad.
3) Deje rápidamente el portabrocas de cristal de semillas y limpie con cuidado el portabrocas de peso y molibdeno con una toalla de papel empapada en alcohol. Si es necesario, retire el peso, púlelo cuidadosamente con tela de esmeril y límpielo. Al retirar el peso, tenga cuidado de evitar que el cable metálico se salga de la ranura. Al limpiar el cable metálico, compruebe si la pieza de unión está envejecida o dañada. Si es así, corte una sección de cable metálico para evitar que el monocristal se caiga al tirar del cristal. Limpie el peso de elevación hasta una posición determinada. Al levantar el martillo pesado, no lo agite para evitar que cuelgue del borde inferior de la cámara auxiliar y rompa el cable metálico.
B. Limpieza de la sala de pagos pequeña
1) Abra la puerta de la sala de pagos y limpie los accesorios de la sala de pagos pequeña con una toalla de papel empapada en alcohol. Cuando se adhiere mucha materia volátil, se debe tratar primero con un cepillo de aspiradora.
2) Utilice una toalla de papel empapada en alcohol para limpiar con cuidado la entrada de succión, otros orificios pequeños, la periferia de la válvula de mariposa y el eje giratorio de la cámara auxiliar. Las ranuras y soldaduras de la válvula de mariposa se enrollan hasta darles una forma que las hace más fáciles de manipular con una toalla de papel y luego se frotan con cuidado.
3) Cubra la válvula de mariposa con la pequeña cámara auxiliar limpia y cierre la puerta de la cámara auxiliar.
4) Cubra la parte superior de la pequeña cámara de pago con una toalla de papel limpia.
C. Limpiar la tapa del horno
1) Primero limpie la pared interior con una toalla de papel (si hay demasiados óxidos, límpiela primero con un cepillo de aspiradora).
2) Los pequeños orificios, ventanas de observación, irgans, puertos de válvulas y otras interfaces, soldaduras y otras piezas difíciles de limpiar deben frotarse cuidadosamente con una toalla de papel empapada en alcohol hasta que no quede suciedad.
3) Cuando el polvo de silicona se adhiera fuertemente o la tapa del horno esté parcialmente negra y blanca, púlala cuidadosamente con tela de esmeril hasta que toda la pared interior de la tapa del horno luzca brillante y libre de suciedad.
4) La ventana de observación y la ventana Irgen deben limpiarse cuidadosamente, y todos los orificios pequeños deben enrollarse con toallas de papel, lo que facilitará la limpieza de los orificios de aire hasta que no quede suciedad.
D. Limpieza del barril del horno
1) Primero limpie la pared interior con toallas de papel (si hay demasiados óxidos, límpielos primero con un cepillo de aspiradora).
2) Tome el orificio expuesto y límpielo con cuidado con una toalla de papel empapada en alcohol hasta confirmar que no hay contaminación.
3) Cuando el polvo de silicona se adhiera fuertemente o el cilindro del horno esté parcialmente blanco y negro, use una tela de lija para pulirlo cuidadosamente hasta que toda la pared interna del cilindro del horno luzca brillante y libre de suciedad.
E. Limpiar el tubo de aspiración.
1) Utilice una llave para abrir el tornillo de la tapa del tubo de succión y retire la tapa y el anillo de sellado.
2) Coloque la varilla larga envuelta con lana de acero en el tubo y gírela, y use un cepillo para polvo en el otro extremo para aspirar la materia volátil en el tubo de escape.
3) Limpie con cuidado la tapa de sellado y el anillo de sellado con una toalla de papel empapada en alcohol y luego instálelos.
1. Instalación de componentes de grafito
A. Instale láminas de grafito grandes después de la limpieza (generalmente una vez cada 5 hornos).
1) Mueva el carro grande de acero inoxidable de grafito limpio hacia el costado del horno monocristal. El movimiento debe ser suave.
2) Ensamble el electrodo de grafito, el fieltro de carbón del fondo del horno, la lámina de presión del fondo del horno y la cubierta de aislamiento inferior en secuencia, los tubos de escape en ambos lados y el fieltro de grafito de carbón debajo de la lámina de presión del fondo del horno, el horno. lámina de prensado inferior y los juegos de varillas del crisol, juegos de electrodos y anillos de electrodos oportunos.
Al instalar el electrodo, verifique si la superficie de contacto es plana. Coloque una capa de papel de grafito en las superficies de contacto superior e inferior para evitar el impacto del campo térmico.
3) Instale el calentador limpio, apriete los tornillos de grafito, de lo contrario provocará un incendio en el campo térmico y cúbralo con la tapa de los tornillos de grafito.
4) Instale la cubierta aislante intermedia limpia y conecte la bayoneta. Y corrija la distancia desde el calentador para que sea uniforme; de lo contrario, será necesario ajustarlo.
5) Reinicie el cilindro del horno, encienda la bomba hidráulica, levante el cilindro del horno hasta el límite superior, limpie la conexión entre la parte superior del cilindro del horno y la parte inferior del cilindro del horno con un toalla de papel empapada en alcohol y gire el cilindro del horno al mismo tiempo hasta la ubicación adecuada.
6) Presione hacia abajo el cilindro del horno. Después de colocar el cilindro del horno en su lugar, verifique el orificio de medición de temperatura para evitar que la señal fotométrica sea demasiado pequeña para controlar la temperatura.
7) Instalar el cono termoeléctrico, instalar el cono termoeléctrico y los sellos y vidrio correspondientes en el orden original.
8) Instale el protector térmico superior limpio y conéctelo con bayoneta.
B. Instale piezas pequeñas de grafito después de la limpieza.
1) Utilice herramientas especiales para instalar la varilla del crisol. Asegúrese de apretar el tornillo de la varilla del crisol para evitar que el nivel del líquido tiemble debido a que está flojo.
2) Instale el fondo del crisol y el crisol de tres solapas en secuencia. Al realizar la instalación, asegúrese de que la varilla del crisol, el fondo del crisol y el crisol de tres pétalos sean consistentes y tenga cuidado de evitar daños al material aislante o al calentador.
3) Una vez completada la instalación, abra el crisol y gírelo para comprobar si la distancia entre el crisol de tres placas y el calentador es constante. Si es inconsistente, es necesario ajustarlo a tiempo.
J. Instalación oportuna del crisol
A. Utilice toallas de papel empapadas en alcohol para limpiar el exterior y los alrededores del cilindro del horno y la cubierta del horno, y limpie cuidadosamente el piso alrededor del horno. cuerpo.
b. Recoger el crisol oportuno designado en el lugar designado. Use una máscara antipolvo y guantes limpios al cargar.
C. Compruebe si la etiqueta del paquete del crisol de temporada coincide con la lista de ingredientes, abra el paquete del crisol de temporada y confirme bajo la luz si hay grietas, suciedad o burbujas. Si hay alguna anomalía, tratarla con prontitud e informar al monitor o director.
D. Instale el crisol oportuno en el crisol de tres pétalos de grafito en el horno, prestando atención a los espacios uniformes a su alrededor.
E. Registre el número de serie y el fabricante del crisol estacional utilizado en el registro de operación, conserve el número de etiqueta del crisol estacional y colóquelo en el lugar designado.
K. Instalación del material de silicio
A. Tome el carro de acero inoxidable y el material de silicio para alimentar y verifique cuidadosamente si el contenido de la lista de ingredientes coincide con el número y el ingrediente del horno monocristalino. material Si hay alguna anomalía, Manéjelo oportunamente e informe al líder del escuadrón o al supervisor.
B. Reemplace los guantes de carga. Si hay una aleación maestra, primero colóquela en el crisol de condimentos. Luego, distribuya los restos y los aderezos uniformemente en el fondo de la olla.
c) Coloque la pieza grande en el centro, fíjela con material de tamaño mediano alrededor de la pieza grande y coloque material de silicona pequeño en el espacio. Tenga cuidado al cargar, manipúlelo con cuidado, evite colisiones con el crisol y no deje que el material caiga en el espacio de la cubierta aislante para evitar chispas.
D. Al agregar materiales, tenga cuidado de no dejar que los materiales se salgan del crisol, de lo contrario, el líquido de silicio fluirá hacia abajo durante el proceso de fusión, dañando las piezas de grafito e incluso el horno.
E. Una vez completada la carga, abra el crisol y gírelo para asegurarse de que los espacios circundantes sean consistentes, y luego baje rápidamente el crisol hasta el límite inferior. Deja de girar.
f. Utilice un cepillo aspirador limpio para limpiar la parte superior del crisol, la parte superior del calentador y la parte superior de la cubierta aislante.
G. Instale la cubierta aislante y el tubo de tiro en secuencia. El protector térmico y el desvío se deben instalar de manera consistente y el tubo de desvío se debe instalar con cuidado. Si entra en contacto con material de silicona, se debe ajustar la posición del material de silicona para evitar que la silicona se pegue durante el proceso de fusión.
Instalación del cristal semilla de longitud
A. Utilice una toalla de papel empapada en alcohol para limpiar el anillo de sellado en la conexión entre la cubierta del horno y el cilindro del horno, y luego gire la cubierta del horno. a la parte superior del barril del horno.
B. Encienda la bomba hidráulica, presione el botón de descenso de la tapa del horno y baje la tapa del horno. Después de bajar la cubierta del horno a su lugar, asegúrese de que esté cerrada para evitar fugas de aire.
c. Utilice una toalla de papel empapada en alcohol para limpiar la conexión entre la parte inferior de la cámara auxiliar y la parte superior de la tapa del horno, gire la cámara auxiliar y baje la estufa combinada con el horno. cubrir. Gire la cámara auxiliar lentamente para evitar que el martillo pesado golpee la pared de la cámara auxiliar.
D. Saque el cristal de semilla corroído del lugar designado y límpielo cuidadosamente con una toalla de papel empapada en alcohol. Tenga cuidado de no tocar el cristal de la semilla directamente con las manos para evitar que el sudor contamine el cristal de la semilla.
E. Baje el mandril de cristal de semilla a una posición determinada, instale el cristal de semilla en el mandril desde la puerta pequeña de la sala auxiliar e instale el pasador de molibdeno. Retire el cristal de la semilla con firmeza para que quede firme. Una vez que el cristal semilla esté estable, presione el cristal para que suba rápidamente y alcance la posición adecuada.
f. Utilice toallas de papel empapadas en alcohol para limpiar los anillos de sellado y las juntas de la puerta auxiliar, cierre la puerta auxiliar, apriete los tornillos de la puerta auxiliar y abra la válvula de aleta.
Medidor (abreviatura de meter)) vaciado y detección de fugas
A.
B. Abra lentamente la válvula de bola en la cámara principal.
C. Después de la evacuación, la presión en el horno alcanza
D. Espere a que la presión en el horno aumente
E. del horno es >0.67Pa/min, es necesario repetir los pasos A, B, C y D para la detección de fugas. Si aún falla, infórmelo al personal de mantenimiento para su procesamiento. Y realizar los registros correspondientes.
Llenado de argón, aumento de voltaje y fusión
A. Después de pasar la detección de fugas, encienda la bomba de vacío.
B. Abra lentamente la válvula de bola.
C. Abra el sistema de llenado de gas argón, ajuste el flujo de gas argón en la cámara auxiliar a 20 ~ 30 l/min y estabilice la presión en el horno a 1000 ~ 1500 Pa.
D. Enciende el interruptor de calefacción.
E. Aumente gradualmente la potencia a través del óhmetro según la siguiente tabla. Cada calentamiento debe registrarse en consecuencia. Tenga cuidado al utilizar un medidor Continental para evitar un aumento repentino de potencia, una sobrecarga instantánea del transformador o una sobrecarga instantánea de todo el circuito de calefacción, que puede provocar un incendio o daños. El calentamiento debe realizarse estrictamente de acuerdo con la secuencia de calentamiento; de lo contrario, la temperatura puede aumentar repentinamente, lo que provocará que el crisol se agriete y pierda silicio.
Tiempo Potencia
0 minutos 50 kilovatios
30 minutos 70 kilovatios
60 minutos lt100 kilovatios
F .Durante el proceso de fusión, observe la situación en el horno en cualquier momento. Si no hay un colapso anormal del material, dé al crisol una velocidad de rotación de 2 r/min y eleve el crisol a la posición adecuada. Y realizar los registros correspondientes. Al levantar el crisol, tenga cuidado de no dejar que la superficie del líquido de silicona toque el borde inferior del tubo de drenaje. Después de levantar el crisol, asegúrese de que no haya ningún movimiento en el crisol para completarse; de lo contrario, el tubo guía se pegará al silicio y saltará fuera del silicio.
G. Después de que el material se haya derretido, reduzca la potencia de calentamiento a la temperatura del cristal semilla (correspondiente al horno). Gire el crisol proporcionado a 5 ~ 7 r/min y regístrelo en consecuencia.
H. Cuando el valor del óhmetro baje al valor correspondiente a la temperatura de siembra, se encenderá automáticamente y el crisol se elevará hasta una posición de siembra estable, es decir, la distancia entre el tubo de drenaje y la superficie del líquido es de aproximadamente 15 mm. La posición del tanque de semillas también se puede determinar en función del aumento/disminución del volumen de alimentación según la carga en el horno superior. Para obtener más información, consulte la tabla de referencia de cambios de posición de semillas en el Apéndice A y realice los registros correspondientes.
O. Introducción de semillas, formación de cuellos, ajuste de hombros y giro de hombros
A. Medición y muestreo de resistividad
1) Después de que la temperatura se encienda automáticamente, presione. Baje rápidamente el cristal semilla a una posición donde la ventana de observación principal sea apenas visible, encienda la potencia de rotación del cristal y ajuste el cristal para que gire a 10 ~ 12 r/min.
2) Pasados los 20 minutos, dejar caer el cristal semilla para que esté en contacto con la superficie del líquido, ajustar la temperatura a través del óhmetro y comenzar a soltar el hombro.
3) Levante el hombro hasta un diámetro de 50~60 mm, levántelo desde el nivel del líquido hasta la cámara auxiliar, abra el gas argón en la cámara auxiliar, cubra la válvula de aleta, abra el gas argón en la cámara del horno principal y ajuste el flujo hasta que la presión del horno sea la misma que antes.
4) Aumentar el flujo de gas argón en la cámara auxiliar. Afloje el tornillo de la puerta de la cámara auxiliar. Cuando el manómetro de la cámara auxiliar indique 0, abra la puerta de la cámara auxiliar y apague el gas argón.
5) Ajuste lentamente el cristal a 0 r/min y apague el cristal.
6) Utiliza unos alicates para retirar el cristal semilla y colócalo sobre tu hombro. Tenga cuidado al retirar el cristal de la semilla. No toque el cristal de la semilla directamente con las manos para evitar quemaduras. Después del enfriamiento, se mide la resistividad.
7) Una vez que el cristal semilla se haya enfriado, límpielo con toallas de papel y cierre la puerta de la sala auxiliar.
B. Pague a la bomba para que pase tiempo trabajando
1) Apague el tubo del horno de la cámara auxiliar o cierre la puerta de la cámara auxiliar y luego encienda la alimentación de la bomba auxiliar.
2) Abra lentamente la válvula de bola de succión detrás de la cámara auxiliar hasta que esté completamente abierta.
3) Cuando el manómetro de la cámara auxiliar alcance -0,05 ~ -0,1 MPa, abra la válvula de argón de la cámara auxiliar y cierre la válvula de bola de la bomba auxiliar al mismo tiempo.
4) Cuando el manómetro de la cámara auxiliar esté lleno a 0 ~ -0,05 MPa, cierre la válvula de gas argón de la cámara auxiliar y abra la válvula de bola de la bomba auxiliar al mismo tiempo.
5) Repetir los pasos 3 y 4 tres veces.
6) Finalmente, de acuerdo con el indicador del manómetro, confirme que la presión del aire en la cámara auxiliar sea consistente con la presión del aire en la cámara principal, cierre la válvula de bola en la cámara auxiliar y luego gire corte la alimentación de la bomba auxiliar.
7) Abra lentamente la válvula de mariposa. Abra la válvula de mariposa lentamente para evitar dañar o extruir el sello de la válvula.
8) Abra la válvula de gas argón en la cámara auxiliar al flujo normal y cierre la válvula de gas argón en la cámara principal.
c. Complementar la aleación maestra
1) Si el resultado de la prueba de resistividad está dentro del rango objetivo, puede continuar con el siguiente paso de precalentamiento de siembra de contactos si hay una desviación; , la aleación maestra debe complementarse. El líder del equipo calcula el tipo y la cantidad de aleación maestra reabastecida en función de los resultados de la prueba de resistividad y la cantidad de entrada, saca los materiales, los pesa, los repone y realiza los registros correspondientes.
2) El proceso de dopaje es el mismo que el muestreo de resistividad, excepto que el hombro se coloca a 100 ~ 150 mm y el hombro es lo más plano posible.
3) Después de abrir la puerta del horno, coloque la aleación maestra pesada sobre el hombro plano sin quitar el cristal semilla. Tenga cuidado al colocar la aleación maestra y no toque el cristal semilla directamente con las manos para evitar quemaduras.
4) Presione la bomba B para evacuar y realizar el trabajo, luego ajuste la temperatura de fusión del silicio de manera adecuada, baje el cristal semilla y la aleación maestra al nivel del líquido y déjelos que se derritan y se mezclen.
5) Repita el muestreo de resistividad en A, aspirando en B y reponiendo la aleación maestra en C hasta que la prueba de resistividad esté calificada antes de ingresar al siguiente proceso.
D. Contacto de precalentamiento
1) Después de calificar la resistividad, de acuerdo con la rápida disminución del cristal semilla, baje el cristal semilla a una posición apenas visible a través de la ventana de observación principal. y encienda la fuente de alimentación de rotación del cristal, lo que proporciona una rotación del cristal de 10 ~ 12 r/min.
2) Después de 20 minutos, presione el botón de descenso rápido del cristal semilla para bajar el cristal semilla a una posición a 10 mm de distancia de la superficie del líquido de silicio y precaliente durante 20 minutos. Mantenga registros apropiados. Debe precalentarse; de lo contrario, el cristal semilla se moverá del área de baja temperatura al área de alta temperatura, de fijo a líquido, y la diferencia de temperatura será demasiado grande, lo que provocará que el cristal semilla se disloque.
3) Se debe determinar la posición de subida o bajada rápida del cristal semilla para completar la operación de elevación. De lo contrario, el cristal semilla se disolverá cuando se eleve hasta el límite superior o incluso el peso caerá. en el silicio disuelto, lo que provoca fugas de silicio o toda la carga se desecha por completo y no se puede reutilizar.
4) Deje caer el cristal semilla en contacto con la superficie del líquido de silicio, déjelo en remojo durante 20 minutos, derrita la parte más delgada del cristal semilla y determine si la temperatura de siembra es apropiada según la forma del contacto. hoyo, y comenzar a sembrar si es adecuado, si no es adecuado, ajustar la temperatura a través del medidor europeo durante 20 minutos antes de comenzar a sembrar; La temperatura no puede ser demasiado baja.