Soluciones de ingeniería de depuración
Existen muchos métodos de humidificación comunes para sistemas de purificación de aire acondicionado, como pulverización de agua, película húmeda, pulverización ultrasónica de alta presión, etc. Estos métodos de humidificación son todos procesos de humidificación isentalpía. La inyección de vapor, el secado con vapor y la humidificación con electrodos (calentamiento eléctrico) rocían vapor en el aire acondicionado para suministrar aire, y sus métodos de humidificación son todos procesos de humidificación isotérmicos.
En términos de garantizar la precisión de la humedad relativa de la sala limpia, la precisión del control de los métodos de humidificación de agua anteriores, como rociado de agua, rociado a alta presión y película húmeda, es mejor no hacerlo. Úselo cuando la precisión de la humedad relativa de la sala limpia sea ≤ 10. Se utilizan métodos de humidificación con vapor de secado por pulverización y calentamiento eléctrico (electrodo). Al rociar vapor seco para humidificación, se debe prestar atención a la eficiencia del rociado de vapor del humidificador de vapor seco. No todo el vapor inyectado en la caja del aire acondicionado se añade al suministro de aire del aire acondicionado, sino que parte se convierte en agua condensada y se descarga. Por lo tanto, al seleccionar la cantidad de humidificación para la humidificación con vapor seco, se debe considerar la eficiencia de la inyección de vapor. Algunos fabricantes dan una eficiencia de inyección de vapor del 70%.
Los diferentes humidificadores tienen diferentes rangos de aplicación, como los humidificadores de agua como rociado de agua, película húmeda y rociado de alta presión. Se caracterizan por una gran capacidad de humidificación, un bajo costo de inversión y una precisión deficiente en el control de la humedad relativa. , por lo que son muy utilizados para humidificadores de agua que no requieren humedad relativa elevada (>/-10), y para humidificación de sistemas de aire acondicionado en talleres industriales y salas climatizadas con gran capacidad de humidificación. La humidificación con vapor seco y la humidificación con electrodos (calentamiento eléctrico), que tienen una alta precisión de control de la humedad relativa, se utilizan principalmente para la humidificación de sistemas de aire acondicionado de salas limpias que requieren una estricta precisión de la humedad relativa debido a su alta inversión.
Se utiliza en salas biológicas limpias (como biofarmacéuticos, quirófanos limpios, salas estériles, laboratorios de bioseguridad, salas experimentales de cría de animales estériles, etc.) con microorganismos como objetos de control, y lo importante es controlar producción y diseminación de microorganismos. Debido a que la humedad es las condiciones para el crecimiento y la reproducción de microorganismos, las salas blancas biológicas no pueden usar métodos de humidificación de agua como rociado de agua, película húmeda y rociado a alta presión. Solo pueden usar humidificación con vapor seco y electrodos (calefacción eléctrica). humidificación.
Otra cuestión que vale la pena señalar es que en los últimos años, la humedad relativa del aire exterior en Foshan, Guangzhou en el sur de mi país y Shanghai, Suzhou y otros lugares en el este es inferior a la humedad relativa calculada. humedad del aire acondicionado exterior indicada en las "Especificaciones". Por ejemplo, la humedad relativa calculada del aire exterior en la sala limpia de Foshan y Guangzhou es 70, y la de Shanghai y Suzhou es 75. Sin embargo, la humedad relativa exterior medida en los últimos años a veces es de sólo 30. Por lo tanto, la capacidad de humidificación de una sala limpia completa y en funcionamiento es sólo de aproximadamente el 30%. Para simplificar y ahorrar dinero, algunas fábricas agregan una película humidificadora o humidificación por aspersión al aire acondicionado original para aumentar la cantidad de humidificación. Pero contrariamente a lo esperado, no sólo no se puede agregar agua, sino que los elementos agregados pronto se saturarán y el agua condensada precipitará, sin lograr el propósito de humidificación. Debido a que la película húmeda y el rociado a alta presión son procesos de humidificación isentalpía, el aire acondicionado antes de la humidificación debe calentarse a una temperatura determinada para lograr el propósito de la humidificación. No es factible sin calefacción.
Otro tema que necesita atención cuando se trata de humidificación es que el flujo de aire del aire acondicionado transporta agua. Algunos proyectos no abordaron el problema de la humectación con agua. Como resultado, el agua transportada mojó el filtro central e incluso el filtro de alta eficiencia en la parte posterior. Para los humidificadores de vapor seco, también se debe prestar atención a la pendiente y dirección de la tubería de vapor y de la tubería de condensado para que el agua condensada pueda descargarse rápidamente del aire acondicionado. Si el humidificador está ubicado en la sección del ventilador del aire acondicionado, también se deben tomar medidas para evitar que el agua de condensación gotee sobre el motor, provocando un cortocircuito y un corte de energía en el motor. La definición de ingeniería de purificación de microelectrónica óptica es eliminar partículas de polvo, aire nocivo, bacterias y otros contaminantes del aire en un espacio determinado, y eliminar la temperatura y la humedad interior, la limpieza, la presión interior, la velocidad y distribución del flujo de aire, la vibración del ruido, iluminación, electricidad estática, etc. Controlado dentro de ciertos requisitos para proporcionar un espacio cerrado especialmente diseñado.
La ingeniería de purificación de microelectrónica óptica, también conocida como sala limpia o sala limpia, siempre ha sido indispensable en semiconductores, fabricación de precisión, fabricación de cristales líquidos, fabricación óptica, fabricación de placas de circuitos y bioquímica, medicina, fabricación de alimentos y otros. Industrias. Instalaciones importantes. En los últimos años, debido a la innovación y el desarrollo tecnológico, la demanda de alta precisión y miniaturización de productos se ha vuelto más urgente. Por ejemplo, la investigación y fabricación de circuitos integrados a muy gran escala se ha convertido en un proyecto muy importante en el desarrollo científico y tecnológico de varios países del mundo. Los conceptos de diseño y la tecnología de construcción de nuestra empresa ocupan una posición de liderazgo en la industria.
Los proyectos de purificación de microelectrónica óptica generalmente incluyen:
1. Área de producción limpia
2. Salas auxiliares limpias (incluidas salas para purificación de personal y purificación de materiales) y algunas salas de estar, etc.)
3. Área de gestión (incluida oficina, servicio, gestión y descanso)
4. Área de equipos (incluida la aplicación del sistema de aire acondicionado limpio, sala eléctrica) , sala de agua y gas de alta pureza, sala de equipos de frío y calor)
Materiales
1. Las paredes y el techo del taller de purificación generalmente utilizan placas de acero de color sándwich de 50 mm de espesor, que se caracterizan por su bella apariencia y su poderosa rigidez. Las esquinas curvas, puertas y marcos de ventanas generalmente utilizan perfiles especiales de óxido de aluminio.
2. El piso puede ser un piso plano de gravedad epoxi o un piso de plástico resistente al desgaste de alta calidad. Si tiene requisitos antiestáticos, puede elegir el tipo antiestático.
3. El conducto de aire de retorno está hecho de láminas galvanizadas en caliente y está sujeto con láminas de plástico de espuma PF retardante de llama con buenos efectos de purificación y aislamiento.
4. El marco de acero inoxidable de la salida de suministro de aire de alta eficiencia es hermoso y limpio, y la placa de aluminio pintada con pantalla perforada no tiene óxido ni polvo y debe estar limpia.
Soluciones de ingeniería para la purificación de microelectrónica óptica:
En el proceso de diseño de ingeniería de purificación, se debe fortalecer el análisis y la comprensión del esquema de diseño de ingeniería de purificación para la industria de la microelectrónica óptica. el proyecto es de nueva construcción El proyecto sigue siendo un proyecto de renovación del edificio de una antigua fábrica, y la limpieza, temperatura y humedad requeridas se determinan en función de su tecnología de producción y proceso de producción específicos. Luego, de acuerdo con las condiciones específicas del proyecto, y teniendo en cuenta la asequibilidad económica del fabricante, se combinan varios factores para determinar qué tipo de solución de purificación adoptar, a fin de diseñar una solución que pueda satisfacer la producción y el uso de la Parte A. Requisitos, con un costo de proyecto razonable, economía, ahorro de energía y practicidad.
1. Unidad combinada de tratamiento de aire, enfriador y salida de suministro de aire de alta eficiencia
Esta es la solución de diseño más tradicional para sistemas de purificación de aire acondicionado. La unidad de tratamiento de aire combinada incluye varias secciones funcionales, como sección de mezcla, sección de filtración primaria, sección de enfriamiento de superficie, sección de aire de retorno secundario (o sección intermedia), sección de calefacción, sección de humidificación, sección de filtración intermedia, sección de ventilador, etc. La fuente de frío la proporciona el enfriador.
Ventajas:
A. El efecto del tratamiento del aire es bueno, porque el aire se procesa de forma centralizada y el grado de contaminación durante el proceso de suministro de aire es bajo. Controle con precisión la temperatura y la humedad del aire de suministro;
B. Más adecuado para grandes fábricas con fuentes de frío concentradas;
C Las fuentes de frío y calor del aire acondicionado se pueden utilizar junto con el sistema de aire acondicionado compartido de la fábrica o por separado;
D. La frecuencia de mantenimiento es baja;
E.
Desventajas:
a Requiere una cámara frigorífica completa o espacio exterior para colocar la unidad de bomba de calor. Además, se requiere una habitación con aire acondicionado para albergar una unidad de tratamiento de aire combinada. Por ejemplo, una unidad de tratamiento de aire combinada con una capacidad de 25.000 m3/h tiene un tamaño general de aproximadamente 6450 × 1850 × 2250 mm. Es difícil liberar entre el 20 y el 30% de la sala de ordenadores en el proyecto de renovación de la antigua fábrica;
B.
Características:
A. Se recomienda concentrar el aire fresco y mezclarlo con el aire de retorno, lo que puede reducir la carga del tratamiento de enfriamiento de la sección del enfriador de superficie;
bEsta solución generalmente se puede aplicar a talleres limpios y libres de polvo con mayor limpieza, como nivel 100, nivel 1000, nivel 10000, nivel 100000, etc.
2. Análisis del esquema de diseño de ingeniería de purificación para la industria de microelectrónica óptica, enfriador de agua, gabinete de aire presurizado y salida de suministro de aire eficiente.
En comparación con la solución anterior, esta es una solución de aire acondicionado relativamente sencilla. Puede reducir en gran medida el área de la sala de ordenadores. El enfriador de agua se puede colocar en una sala de máquinas más pequeña o en un taller de purificación según las circunstancias específicas, y el gabinete de aire presurizado también se puede colocar en la sala de máquinas o colgar en la sala de máquinas o en el entresuelo.
Ventajas:
A. El efecto del tratamiento del aire es bueno y la contaminación del aire después del tratamiento durante el suministro de aire es pequeña. El efecto de control de temperatura y humedad del aire de suministro puede lograr un mejor control. El control principal está en la unidad de tratamiento de aire (gabinete de aire presurizado);
B. Viene con su propia fuente de frío;
C Adecuado tanto para fábricas antiguas como nuevas;
D Baja frecuencia de mantenimiento;
E. taller.
Desventajas:
A. Requiere una pequeña sala de ordenadores. Es necesario colocar torres de enfriamiento y bombas de agua de enfriamiento;
B. Las unidades de aire acondicionado y las unidades de procesamiento de aire acondicionado deben disponerse de forma centralizada;
Bajo costo. Características: Esta solución puede ser un aire de retorno primario o un aire de retorno secundario, dependiendo del tamaño del taller, esta solución generalmente es aplicable a talleres limpios y libres de polvo con un nivel de limpieza de miles, decenas de miles o cientos de; miles.
3. Análisis del plan de diseño de ingeniería de purificación de la salida de suministro de aire FFU de la industria de microelectrónica óptica del gabinete de aire acondicionado split.
Esta es la solución de aire acondicionado más sencilla. El gabinete de aire acondicionado dividido está dispuesto directamente en el taller y está sellado con acero de color. La salida de aire de retorno del gabinete se abre en la placa de acero de color (con un filtro primario, el grupo de filtro de ventilador FFU está dispuesto uniformemente en el). techo. Esta solución es adecuada para talleres libres de polvo que no tienen altos requisitos de precisión de temperatura y humedad interior.
Ventajas:
A. No necesita ocupar el área de la sala de computadoras y el diseño es flexible;
B. Puede cumplir con los requisitos de limpieza del aire;
C .Coste más bajo. La inversión inicial para un taller libre de polvo es de alrededor de 400.000 €;
D El suministro de aire tiene buena uniformidad.
Desventajas:
A. Mal control de la temperatura y la humedad;
B. Puede cumplir con la limpieza del aire
C. La frecuencia es muy alta.
4. Características de los talleres limpios en el análisis de soluciones de diseño para proyectos de purificación industrial de microelectrónica óptica.
1. Taller libre de polvo
Limpieza:
El breve proceso de producción de una pantalla LCD es el siguiente: limpieza → película de orientación de impresión → frotado → sellado y colocación de la capa de impresión Espaciador → combinación → trazado y corte → inyección LC → pegado del polarizador → inspección final de la producción de la pantalla.
En este diseño nos referimos a unos talleres libres de polvo al final del proceso, y su limpieza de depuración es generalmente de mil o diez mil o cien mil. Los talleres libres de polvo de pantallas retroiluminadas son principalmente talleres de estampado y talleres de ensamblaje para dichos productos, y el nivel de limpieza es generalmente de 10,000 o 100,000.
b. Requisitos de los parámetros del aire interior:
(1) Requisitos de temperatura y humedad: la temperatura es generalmente de 24 ± 2 ℃ y la humedad relativa es de 55 ± 5.
(2) Gran volumen de aire fresco. Dado que hay mucha gente en este tipo de taller, el valor máximo se puede tomar de acuerdo con los siguientes valores: 10 - 30 del volumen total de suministro de aire de la sala limpia de flujo no unidireccional compensar el escape interior y mantener el aire fresco; requerido para la presión positiva interior; asegúrese de que cada persona por hora Volumen de aire fresco interior ≥ 40 m3/h
(3) Gran volumen de suministro de aire. Para lograr la limpieza y el equilibrio de calor y humedad de la sala limpia, se requiere un gran volumen de suministro de aire. El taller de 300 metros cuadrados tiene una altura de techo de 2,5 metros. Si es el nivel 10000, el volumen de suministro de aire requerido es 300×2,5×30 = 22500 m3/h (el número de cambios de aire es ≥25 veces/h si es el nivel 100000, el volumen de suministro de aire requerido es 300×); 2,5×20=15000m3/h (número de ventilaciones ≥ 15 veces/h).
Análisis del esquema de diseño de ingeniería de purificación para la industria de la microelectrónica óptica
Para el diseño de aire acondicionado de sala limpia de talleres electrónicos convencionales, ¿cuál debe seleccionarse en función de los requisitos del proceso de producción del Taller de electrónica y condiciones económicas de la Parte A. El esquema de diseño del aire acondicionado se basa en el cumplimiento de los requisitos del proceso de producción. Según la experiencia pasada, aquellos con altos requisitos pueden elegir la solución de aire acondicionado de unidades de tratamiento de aire combinadas; aquellos con bajos requisitos y baja inversión inicial pueden elegir el gabinete FFU. En resumen, la elección de soluciones específicas depende de la situación concreta. ●El tratamiento de purificación del aire en todos los niveles de limpieza del aire en el proyecto de purificación debe utilizar filtración de tres etapas de filtros de aire primario, intermedio y de alta eficiencia. Para un tratamiento de purificación de aire de 100.000 niveles, se pueden utilizar filtros de aire de baja eficiencia en lugar de filtros de aire de alta eficiencia.
●La selección, disposición e instalación de los filtros de aire deben cumplir los siguientes requisitos: el filtro de aire primario no debe utilizar filtros sumergidos en aceite; la sección de presión positiva del sistema de aire acondicionado de purificación debe estar equipada con medio; -filtros de aire de alta eficiencia; se debe instalar un filtro de aire de alta eficiencia o un filtro de aire de baja eficiencia al final del sistema de aire acondicionado de purificación. El método de instalación del filtro de aire de alta eficiencia debe ser simple y confiable. y deben ser a prueba de fugas y reemplazables; los filtros de aire de eficiencia media, subeficiencia y alta eficiencia deben seleccionarse de acuerdo con el volumen de aire nominal y deben instalarse filtros HEPA con resistencia y eficiencia similares en el mismo taller de purificación.
●Al determinar un sistema de aire acondicionado de purificación centralizado o descentralizado, se deben considerar de manera integral factores como las características del proceso de producción y el nivel de limpieza, el área y la ubicación del aire en el taller de purificación. En lugares donde el proceso de producción es continuo, la sala limpia o el área del taller de purificación es grande, la sala limpia está concentrada y tiene requisitos estrictos para el control de ruido y vibración, se debe utilizar un sistema de aire acondicionado limpio centralizado.
●Cuando el sistema de purificación de aire acondicionado requiere calefacción eléctrica, se debe utilizar un calentador eléctrico tubular y colocarlo en el lado contra el viento del filtro de aire de alta eficiencia, y se deben tomar medidas de seguridad contra incendios.
●El ventilador se puede seleccionar en función del volumen total de suministro de aire y el valor de resistencia total del sistema de aire acondicionado de purificación. La resistencia de los filtros de aire de eficiencia media y alta debe calcularse como el doble de la inicial. resistencia.
●En los proyectos de purificación, además de los sistemas de CC y los sistemas con ventiladores en servicio, se deben tomar medidas anticaídas para el sistema de aire acondicionado de purificación para evitar que el aire contaminado del exterior ingrese al taller de purificación a través de la salida de aire fresco.
●El diseño del sistema de aire acondicionado limpio debe hacer un uso razonable del aire de retorno. Cuando se produce una gran cantidad de sustancias nocivas en el proceso, el tratamiento local no puede cumplir con los requisitos higiénicos o es perjudicial para otros procesos, no se utiliza aire de retorno.