¿Cómo solucionar el problema de los rayones que se suelen producir al pulir silicio fundido?

Los rayones son un problema común durante el pulido de zona de silicio fundido y pueden ser causados ​​por una variedad de factores. A continuación se muestran algunas soluciones sugeridas y análisis de posibles causas:

Compruebe el material de pulido:

Utilice un paño o una almohadilla de pulido de alta calidad. Los materiales de pulido de baja calidad pueden contener impurezas o partículas duras que pueden rayar la superficie de silicona durante el proceso de pulido.

Reemplace los materiales de pulido periódicamente para evitar el uso de materiales caducados o dañados.

Optimizar el fluido de pulido:

Elija un fluido de pulido adecuado para fundir silicona. Las diferentes composiciones y concentraciones de los líquidos de pulido tienen un gran impacto en el efecto de pulido.

Asegúrate de que el líquido de pulido esté limpio y libre de impurezas o depósitos. Cambie el líquido de pulido con regularidad y evite utilizar líquido contaminado.

Controlar los parámetros de pulido:

Ajustar la velocidad, presión y tiempo de pulido de la máquina pulidora. Una velocidad o presión excesivas pueden provocar una fricción excesiva entre el paño de pulido y la superficie de silicona, lo que provocará rayones.

Optimiza gradualmente los parámetros de pulido y encuentra las mejores condiciones de pulido.

Revise el entorno de pulido:

Asegúrese de que el entorno de pulido esté limpio y evite que entre polvo, partículas u otros contaminantes en el área de pulido.

Si es posible, realizar las operaciones de pulido en una sala limpia o ambiente controlado.

Inspeccione la oblea de silicio en sí:

Asegúrese de que la oblea de silicio fundida de la zona utilizada sea de buena calidad y no tenga rayones o defectos preexistentes.

Antes de pulir, las obleas de silicona se limpian minuciosamente y se pretratan para eliminar los contaminantes y las impurezas de la superficie.

Prácticas de capacitación y operación:

Capacite adecuadamente a los operadores para asegurarse de que comprendan las técnicas de pulido y las prácticas operativas correctas.

Establezca y siga estrictos procedimientos de limpieza y mantenimiento para reducir los rayones causados ​​por una manipulación inadecuada.

Utilice técnicas de reparación de rayones:

Si se producen rayones, considere usar pulido mecánico químico (CMP) u otras técnicas de reparación de rayones para eliminarlos o aclararlos.

Elija el método de reparación adecuado según la gravedad del rayado y los requisitos de la oblea de silicio.